问答题

论述题
下图是硅烷反应淀积多晶硅的过程，写出发生反应的方程式，并简述其中1～5各步的含义。

【参考答案】

（1）反应气体从腔体入口向晶圆片附近输运；
（2）这些气体反应生成系列次生分子；
（3）这些反应物输运到晶圆片表面；
（4）表面反应释放出硅；
（5）气体副产物解吸附；
（6）副产物离开晶圆片表面的输运；
（7）副产物离开反应器的输运

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