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问答题

简答题 当旋涂机接片手往冷却梁输入arm 1手放片不正时,应如何调整?

【参考答案】

(1)首先调整接片手与arm 1手的对中,在arm 1手上放一碟片,接片手的四个吸咀均在碟片堆积环内且距中孔基本0距。
(2)其次调整第一机械手与接碟手放碟位置及对中。