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单项选择题

A.电子B.中性粒子C.带能离子溅射法是由()轰击靶材表面,使靶原子从靶表面飞溅出来淀积在衬底上形成薄膜。……

溅射法是由()轰击靶材表面,使靶原子从靶表面飞溅出来淀积在衬底上形成薄膜。

A.电子
B.中性粒子
C.带能离子