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问答题

简答题 简述离子束加工原理。

【参考答案】

与电子束加工比较相似,离子束加工也是在真空条件下,把惰性气体,通过离子源产生离子束并经过加速、集束、聚焦后,投射到工件表面的加工部位,以实现去除加工。
与电子束加工相比,离子束加工具有更大的能量。