液氮洗涤装置冷箱内设备发生泄漏会造成冷损增加，冷箱壳体压力升高。从冷箱缝隙处冒出冷气，冷箱外壳有结霜。如果是液体泄漏还能观察到基础温度下降。（0.2）还可以通过化验分析冷箱逸出的气体组分来帮助判断。
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