真空系统的极限真空Pu决定于系统的抽速S和漏气量Q,即,故在抽速一定时,漏气量就决定了真空度,欲使系统达到预定的极限真空,必须通过检漏和堵漏使系统的漏气量控制在允许漏率范围内。
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