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问答题

简答题 薄膜材料制备中,蒸发源材料选择则是应考虑哪三个原则?

【参考答案】

(1)能加热到平衡蒸气压为(1.33×10-2~1.33Pa)的蒸发温度;
(2)要求坩锅材料具有化学稳定性;
(3)能承载一定量的待蒸镀材料。