填空题通常在硅单晶生产清洗中所用的纯水，25℃时电阻率在（）欧姆•厘米以上，但是此种水仍含有1毫克 升的杂质。
填空题纯水又叫去离子水，即除去（）、（）和（）等杂质的水。
填空题目前单晶硅生产中主要采用（）和（）制取高纯水。
填空题加热器是根据直拉单晶炉的（）和所拉制单晶的（）等条件确定的，一般设计成（）电路形式。
填空题常见的加热器有三种形状，筒形、杯形、螺旋形，目前绝大多数加热器为（）。
