简答题 简述溅射机理？如何提高溅射率？

【参考答案】

溅射是指这充满腔室的工艺气体在高电压的作用下，形成气体等离子体（辉光放电），其中的阳离子在电场力作用下高速向靶材冲击，阳离子和靶材进行能量交换，使靶材原子获得足够的能量从靶材表面逸出（其中逸出的还可能包含靶材离子）。这一整个的动力学过程，就叫做溅射。
提高溅射率：
①提高离子动能......

(↓↓↓ 点击‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)