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多项选择题

A.台阶仪B.干涉显微镜C.光切显微镜D.扫描电镜E.椭偏仪微电子领域内,下列测厚仪中属于有台阶的测厚仪为()……

微电子领域内,下列测厚仪中属于有台阶的测厚仪为()。

A.台阶仪
B.干涉显微镜
C.光切显微镜
D.扫描电镜
E.椭偏仪