光子与固体内的自由电子发生非弹性碰撞，光子的一部分能量转移给电子，使电子沿与光子入射方向成Φ角飞去，称作反冲电子。光于自身能量减少，波长变长，运动方向改变。这一过程，即称康普顿效应。
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