问答题

简答题阐述立体光刻技术的具体实现方法？

【参考答案】

立体光刻原则上属添加法，它是由一台计算机控制的激光光束，通过CAD系统提供数据，利用光束依层固化液态的光敏树脂，直至得到所需模型。光刻技术主要应用在微电子中。它一般是对半导体进行加工，需要一个有部分透光部分不透光的掩模板，通过曝光、显影、刻蚀等技术获得和掩模板一样的图形。先在处理过后的半导体上涂上光...

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简答题 阐述立体光刻技术的具体实现方法？

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