判断题手动关机时，关闭扩散泵加热，等冷却50分钟后，需先关闭MV阀、再关罗茨泵和机械泵。
判断题手动开机时，打开扩散泵（DP）加热开关前先需把MV阀打开，否则会影响扩散泵抽速。
判断题关扩散泵后等待30分钟就可以关掉设备总电源。
判断题自动关机时只要把总电源关掉就可以了。
判断题自动关机时不需要考虑真空度就可以直接关机。
