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问答题

简答题 简单叙述一下pn结隔离的NPN晶体管的光刻步骤?

【参考答案】

第一次光刻:N+隐埋层扩散孔光刻
第二次光刻:P隔离扩散孔光刻
第三次光刻:P型基区扩散孔光刻
第四次光刻:N+发射区扩散孔光刻
第五次光刻:引线孔光刻
第六次光刻:反刻铝