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问答题

简答题 薄膜的化学制备方法有哪些?

【参考答案】

主要分为化学气相沉积CVD和溶液镀膜法,化学气相沉积包括热CVD、等离子体CVD及光CVD等;溶液镀膜法包括化学镀膜法、溶胶——凝胶法、阳极氧化技术、电镀技术、LB技术等。