填空题利用正电压效应，可制作（）、（）等，利用逆压电效应，可制作（）、超声波发生器等。
填空题电容式传感器是将被测量的变化转换成电容量变化的一种传感器，主要类型有：极距变化型、（）等。
填空题差动变压器式传感器的工作原理是（），故也称其为（）传感器。
填空题自感式传感器通过改变（）、（）和（），从而改变线圈的自感量，可将该类传感器分为（）、改变隙面积式和螺旋管式。气
填空题压电式传感器常用的压电材料有（）、（）等。
