问答题

简答题简述薄膜材料合成与制备的常用方法及其特点。

【参考答案】

薄膜沉积的化学方法：包括化学气相沉积，热生长，电镀，阳极氧化，化学镀，溶胶凝胶法，L-B技术等，其特点是设备简单，成本较低，甚至无需真空环境即可进行，但是化学制备、工艺控制复杂，有可能涉及高温环境。
薄膜制备的物理方法主要包括真空蒸发、溅射、离子镀及离子助沉积技术。

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