论述题 能谱仪和波谱仪都能做微区成分分析，试分析两种仪器在工作原理上的区别和各自适用范围。

【参考答案】

能谱仪和波谱仪相比较具有以下特点：
优点：
1）探测效率高。Si（Li）探头可靠近样品，特征X射线直接被收集，不必通过分光晶体的衍射，故探测效率高，甚至可达100%，而波谱仪仅有30%左右。为此，能谱仪可采用小束电流，空间分辨率高达纳米级，而波谱仪需采用大束流，空间分辨率仅为微米......

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