简答题 简述什么是无损伤抛光方法。

【参考答案】

晶体材料的无损伤表面抛光技术，是以不破坏极薄表层结晶结构的加工单位进行材料微量切除加工的方法。
按加工状态，将无损伤抛光看作是机械作用和化学的作用所进行，这种加工方法可分为：
1）机械微量去除抛光；
2）化学抛光；
3）化学机械复合抛光。
1机械微量......

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