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单项选择题

A.去除设备内静电B.对进入设备内的水进行过滤C.去除设备内异物D.以上均不是Module制程设备上通常都有高……

Module制程设备上通常都有高效过滤器(FFU),其作用是()。

A.去除设备内静电
B.对进入设备内的水进行过滤
C.去除设备内异物
D.以上均不是