简答题 什么叫离子注入，它的特点是什么？

【参考答案】

在真空中将元素电离，并加高压使离子以很高速度硬挤入工件表面的工艺过程叫离子注入。其特点是深度浅，而在使用中，注入元素仍能继续向里迁移。由于注入时工件温度低，故不改变基体性能及表面粗糙度。注入时，注入能量及注入深度能准确控制，注入层结合力强，无剥落现象。