A.1~1.8倍 B.1.3~1.8倍 C.1.3~2.1倍 D.1.5~2.3倍
单项选择题有机性气体大多产生在下列哪道工艺()。
A.离子注入 B.刻蚀 C.扩散 D.光刻
多项选择题空气污染物按照处理性质来分:有()。
A.酸碱性气体 B.有机性气体 C.特殊毒性气体 D.水蒸汽 E.中性气体
多项选择题净化室里废气收集管系统分为两类,分别是()。
A.一般排气系统 B.特殊排气系统 C.制程排气系统 D.专用排气系统 E.排气排水系统
多项选择题静电释放带来的问题有哪些()。
A.金属电迁移 B.金属尖刺现象 C.芯片产生超过1A的峰值电流 D.栅氧化层击穿 E.吸引带电颗粒或极化并吸引中性颗粒到硅片表面
单项选择题由静电释放产生的电流泄放最大电压可以达()。
A.几伏 B.几十伏 C.几百伏 D.几万伏