简答题 何为分子泵，其工作特点是什么？分子泵有哪几种形式，各有何特点？

【参考答案】

分子泵也属于气体传输泵，但是它是一种无油类泵，可以和前级泵构成组合装置，从而获得超高真空。分子泵分为牵引泵（阻压泵）、涡轮分子泵和复合分子泵三大类：
（1）牵引泵在结构上更为简单，转速较小，但压缩比大；
（2）涡轮式分子泵可分“敞开”叶片型和重叠叶片型，前者转速高，抽速也较大，后者则......

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