填空题球差即球面像差，是由于电磁透镜的（）与（）对电子的折射能力不符合预定的规律造成的；像散是由透镜磁场的（）对称引起的；色差是由于入射电子的（）所造成的。
填空题X射线衍射仪由X射线发生器、（）、（）和（）4个基本*部分组成，现代X射线衍射仪还配有控制操作和运行软件的计算机系统。
填空题俄歇电子能谱谱线KL1L2，K表示（）L1表示（）L2表示（）。
填空题XPS光电子能谱图中通常会出现X射线卫星峰、能量损失峰、（）、（）和（）、（）等5种伴峰。
填空题原子力显微镜中利用斥力与吸引力的方式发展出三种（）、（）和（）操作模式。
