简答题 简述旋片机械泵、油扩散泵、分子泵的工作原理及性能特点？

【参考答案】

一、旋片机械泵：
原理：利用机械运动部件转动或滑动形成的输运作用获得真空的泵。
特点：需加真空油（密封用）；可从大气压开始工作；真空度要求低→可单独使用；真空度要求高→作为前级泵使用
二、油扩散泵：
原理：将真空油加热到高温蒸发状态（约20......

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