（1）溅射出来的粒子角分布取决于入射粒子的方向. （2）从单晶靶溅射出来的粒子显示择优取向. （3）溅射率不仅取决于入射粒子的能量，也取决于入射粒子的质量. （4）溅射出来的粒子平均速率比热蒸发的粒子平均速率高得多.
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