问答题什么是低压CVD和等离子CVD?各有何优点?
问答题简述CVD的必要条件?
问答题简述离子镀膜的优缺点?
问答题简述二极直流溅射、偏压溅射、三极或四极溅射、射频溅射、磁控溅射、离子束溅射结构及原理?
问答题简述溅射机理?如何提高溅射率?