延层厚度应满足 Tepi>Xjc+Xmc+TBL-up+Tepi-ox 集区扩散结深Xjc 、集电极耗尽区宽度Xmc、埋层扩散上推距离TBL-up和为外延淀积后各道工序生成的氧化层所消耗的外延层的厚度tepi-ox。
问答题简述隐埋层杂质的选择原则
问答题如何计算killing ratio?
问答题yield loss analysis的功能为何?
问答题何谓yield loss analysis?
问答题简述Zone partition的做法?