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问答题

简答题 外延层厚度包括哪几个部分,公式里的四项分别指什么?

【参考答案】

延层厚度应满足 Tepi>Xjc+Xmc+TBL-up+Tepi-ox
集区扩散结深Xjc 、集电极耗尽区宽度Xmc、埋层扩散上推距离TBL-up和为外延淀积后各道工序生成的氧化层所消耗的外延层的厚度tepi-ox。