电子束加工是利用电子高速运动时的冲击动能来加工工件的； 在真空条件下，利用电流加热阴极发射电子束，再经过加速极加速，将具有很高速度和能量的电子束聚焦在被加工材料上，高速电子撞击工件，其动能绝大部分转化为热能，使工件材料局部、瞬时熔融，汽化蒸发而去除； 所以说电子束加工是通过热效应进行加工的。
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