填空题欲得到1nm级的加工精度，加工的最小单位必然在（）。
填空题高效磨削包括（）与强力磨削。
填空题凸形表面的微纳切削大多采用（）车刀。
填空题精密和超精密砂轮磨削的关键是（）。
填空题抛光一般作为一种降低（）的精密和超精密加工方法。
