简答题 给出半导体质量测量的定义。例出在集成电路制造中12种不同的质量测量。

【参考答案】

半导体质量测量定义了硅片制造的规范要求，以确保满足器件的性能和可靠性。
集成电路制造中的12种不同的质量测量：
1.膜厚
2.方块电阻
3.膜应力
4.折射率
5.掺杂浓度
6.无图形表面缺陷
7.有图形表面缺陷
8.关键尺寸
9.台阶覆盖
10.套刻标记
11.电容-电压特性
12.接触的角度