问答题

计算题
制造半导体元件时，常常要精确测定硅片上二氧化硅薄膜的厚度，这时可把二氧化硅薄膜的一部分腐蚀掉，使其形成劈尖，利用等厚条纹测出其厚度。已知硅的折射率为3.42，SiO₂折射率为1.5，入射光波长为3.589nm，观察到7条暗纹（如图所示）。问SiO₂薄膜的厚度e是多少？

【参考答案】

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