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单项选择题

A.1英寸、2英寸、3英寸、4英寸B.1英寸、2英寸、5英寸、6英寸C.3英寸、4英寸、5英寸、6英寸D.3英……

在光刻工艺中,一般包括()等规格的硅片。

A.1英寸、2英寸、3英寸、4英寸
B.1英寸、2英寸、5英寸、6英寸
C.3英寸、4英寸、5英寸、6英寸
D.3英寸、4英寸、6英寸、8英寸