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多项选择题

A.氧沉淀B.氧分离C.氧施主D.二次缺陷由于硅晶体经历了各种温度的热处理,过饱和的间隙氧会在硅晶体中偏聚和沉……

由于硅晶体经历了各种温度的热处理,过饱和的间隙氧会在硅晶体中偏聚和沉淀,形成了()

A.氧沉淀
B.氧分离
C.氧施主
D.二次缺陷