简答题 简述离子加工有何特点？

【参考答案】

（1）易于精确控制。离子束可以通过离子光学系统进行聚焦扫描，共聚焦光斑可达1um以内，因而可以精确控制尺寸范围。由于离子束流密度及离子的能量可以精确控制，在溅射加工时，可以将其表面原子逐个剥离，从而加工出极为光整地表面，实现微精加工。而在注入加工时，能精确的控制离子注入的深度和浓度。
（2）......

(↓↓↓ 点击‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)