简答题 简述点蒸发和小平面蒸发源特性，如何改善蒸镀存在的膜厚均匀性问题。

【参考答案】

（1）点蒸发源：能够从各个方向蒸发等量材料小平面蒸发源：发射具有方向性，使在θ角方向蒸发的材料质量和cosθ成正比。
（2）改善基板温度分布：若不均匀，由于凝聚系数不同，温度高的基板上膜厚变薄
蒸发速率必须稳定：最典型的是DWDM滤光片，膜厚均匀性误差应......

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