干涉显微镜是利用光波干涉原理测量表面粗糙度。光学系统利用分光板将光分成两路，并再将两束光汇交于目镜。 由于两束光有光程差，故汇交时会发生干涉，在目镜中可见弯曲的干涉条纹。由干涉条纹的弯曲度、相邻干涉条纹间距和光波的波长即可求得微观表面轮廓波形高度。
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