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单项选择题

A.浮胶B.毛刺和钻蚀C.小岛光刻过程中存在各种缺陷,如玻璃表面的胶膜皱起呈桔皮状或胶膜大片剥离,此种现象称为……

光刻过程中存在各种缺陷,如玻璃表面的胶膜皱起呈桔皮状或胶膜大片剥离,此种现象称为()。

A.浮胶
B.毛刺和钻蚀
C.小岛