填空题在电子偏转时，上偏转线圈使电子束顺时针偏转θ角，下偏转线圈使电子束逆时钟偏转θ+β角，则电子束相对于原来的方向倾斜了（）角，而入射点的位置（）。
填空题二次电子的主要特点是（），（），（），背散射电子的主要特点是（），（）。
填空题X射线衍射的本质是（），产生衍射现象的必要条件是（）。
填空题扫描电镜是由（），（），（）部分组成。
填空题金属薄膜样品的制备过程主要包括：（），（），电解抛光减薄、（）。
