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问答题

简答题 精密和超精密微位移机构要满足哪些设计要求?

【参考答案】

精密和超精密微位移机构要满足以下设计要求:
(1)有足够高的精度;
(2)有足够的行程和运动速度,良好的制动性能和时间响应特性;
(3)有抗干扰能力,对温度不敏感,足够高的刚度和抗振能力;
(4)微位移机构的支承和导轨的摩擦小,无间隙,无爬行;
(5)便于控制,位移特性接近线性。