① 应用各检察点既有的资料可初步判断工艺中缺陷主要的分布情况。 ② 应用既有的缺陷资料及defect review档案可初步辨认异常缺陷发生的工艺站点。 ③ 利用工程实验经由较细的Zone partition可辨认缺陷发生的确切站点或机台
问答题何谓Zone partition
问答题选择监测站点的考虑为何？
问答题如何决定那些产品需要scan?
问答题何谓Sampling plan？
问答题YMS有何功能？
