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多项选择题

A.离子溅射沉积B.离子蚀刻C.离子镀D.离子注入在离子束加工中,哪些加工方式不能改变工件表面材料成分?()……

在离子束加工中,哪些加工方式不能改变工件表面材料成分?()

A.离子溅射沉积
B.离子蚀刻
C.离子镀
D.离子注入

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