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问答题

简答题 如何清理溅镀机?

【参考答案】

将溅镀机打到OFF状态,卸下MASK和靶材,将绝缘套用小刀清洁干净,再用酒精清洁PA、SA与主仓接触部位,最后安装好靶材和MASK,用吸尘器吸干净即可。