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填空题

真空蒸镀法薄膜形成过程,从开始蒸发到基片表面成膜,可分为四个阶段()、()、()、()

【参考答案】

成核—小岛阶段;聚结阶段、;形成网状薄膜;沟道、通路、孔眼阶段、成膜阶段