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单项选择题

A.加热过程B.蒸发过程C.加热蒸发过程D.传热蒸发过程真空蒸镀分为三个过程:(),蒸发源与基片之间的运输,沉……

真空蒸镀分为三个过程:(),蒸发源与基片之间的运输,沉积过程。

A.加热过程
B.蒸发过程
C.加热蒸发过程
D.传热蒸发过程