超声冲击磨蚀加工通孔时，出口若不加垫板，孔口边缘会不整齐或踏边。-找考题网

判断题超声加工时，把频率调高，加工速度就可提高。

判断题阶梯形变幅杆振幅放大倍数高，但内应力大，受负载变化对振幅衰减的影响也最大。

填空题超声清洗的原理：主要是利用超声频振动在液体中产生的交变（）和（）作用。

填空题超声冲击磨蚀打孔加工时，磨浆从变幅杆内部供给方式其加工效率几乎（）随孔深度而变化；而采用喷嘴外部供给的加工效率会随加工孔的深度加大而显著（）。

填空题超声冲击磨蚀工具头与加工孔的侧隙（）磨粒直径。

填空题换能器的作用就将超声频的电信号转化成（）。

填空题超声加工去除材料的机理是磨料的（）作用产生微裂纹、（）作用，以及液体在超声振动下产生的（）现象和楔入裂纹缝隙，也加强了破坏蚀除作用，故只能加工（）材料。

填空题超声冲击磨蚀采用机械能量，超声复合加工有：（）、（）、（）以及（）。

填空题常用的超声变幅杆有（）、（）、（）及（）等形式。

判断题离子束曝光，即用在大规模集成电路制作中，与电子束相比有更高的灵敏度和分辨率。

判断题由于加工时的金属蒸汽会影响电子和离子发射，产生不稳定现象，所以在加工过程中，需要利用真空吸力，不断地把所产生的金属蒸汽抽出去。

判断题只有在较高的真空条件中，电子和离子才能高速运动。

判断题离子注入的能量远低于离子刻蚀和离子溅射沉积。

判断题离子溅射镀膜与离子镀过程原理是一样的。

判断题离子的质量远大于电子，故离子束加工的生产率比电子束高，但表面粗糙度稍差。