填空题光探测器是将（）转变为（）的关键器件。
填空题光电池的基本特性有（）、伏安特性、（）、频率特性、（）。
填空题微光机电系统的特点，是功能系统的（）、集成化、（）。
填空题光电效应分为（）、光伏效应、（）。
填空题光探测器的物理效应主要是（）和（）。
