简答题 真空蒸发镀膜方法常见加热方式有哪些？

【参考答案】

（1）电阻加热。蒸发源是以电阻加热并蒸发薄膜材料的方式为电阻加热。
（2）电子束加热。利用电子枪产生电子束，轰击薄膜材料使之受热蒸发。
（3）高频感应加热。盛放材料的导电坩埚的周围绕有高频线圈，当线圈中有高频电流时，坩埚中感应产生电流而升温，从而使材料受热汽化。
（4）......

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