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问答题

简答题 什么是扫描电镜的分辨本领?扫描电镜的分辨本领取决于哪些因素?

【参考答案】

扫描电镜的分辨本领:一个光学系统能分开两个物点的能力,数值上是刚能清楚地分开两个物点间的最小距离。
(1)相邻两亮区中心距
(2)暗区宽度
(3)r=3~6nm
决定因素:
(1)入射电子束束斑大小
(2)成像信号:二次电子像分辨率最高X射线像最低