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多项选择题

A.只能生长单组份纳米膜B.生成膜有良好的台阶覆盖特性C.可以精确控制膜厚到原子尺度D.是通过控制前驱体的剂(……

关于ALD下列那种说法正确()

A.只能生长单组份纳米膜
B.生成膜有良好的台阶覆盖特性
C.可以精确控制膜厚到原子尺度
D.是通过控制前驱体的剂(流)量来精确控制膜厚的